- DEWALT得偉電動(dòng)工具
- 德國(guó)Isabellenhuet...
- 樂(lè)泰膠水
- 日本IEI巖下點(diǎn)膠設(shè)備
- 日本橫河儀器儀表
- 亞德客AirTAC氣動(dòng)器材
- 瑞士Sulzer Mixpac...
- 日本SMC氣動(dòng)產(chǎn)品
- 日本三英SAN-EI TECH...
- YWF系列外轉(zhuǎn)子軸流風(fēng)機(jī)
- 日本HAKKO八光電熱器件
- AMANO安滿能
- 瑞士IDEAL TEK鑷子
- 日本馬牌KEIBA鉗子
- 日本HIKOKI高壹工機(jī)電動(dòng)工...
- 日本HAKKO白光焊接工具
- 美國(guó)FLUKE福祿克儀器儀表
- 日本MUSASHI武藏點(diǎn)膠設(shè)備
- 定位片
- 電子墨水屏
- 測(cè)溫儀、防護(hù)口罩用品系列
- 膠帶
- 日常用品
- 日本3.Peaks三山手工具
- 德國(guó)STEINEL司登利熱風(fēng)槍
- 日本TECLOCK得樂(lè)測(cè)量工具
- 日本KANON中村扭力扳手
- 鑫東邦膠水
- 日本VESSEL威威手動(dòng)工具
- 日本PEACOCK孔雀儀表
- 鎢鋼銑刀
- CEMEDINE施敏打硬
- 日本CKD喜開**動(dòng)產(chǎn)品
- 日本SHINWA親和測(cè)量工具
- 日本TOHNICHI 東日扭力...
- 日本MITUTOYO三豐測(cè)量工...
- 日本協(xié)力化學(xué)Kyoritsu產(chǎn)...
- 美國(guó)METCAL焊接工具
- 中山TRUSCO工具
- 日本MITSUBISHI三菱全...
- 美國(guó)STANLEY史丹利工具
- 日本MERRY快力電熱剪
- 日本FUJITOOL富士工具
- 日本URYU瓜生氣動(dòng)工具
- 日本HIOS好握速電動(dòng)工具
- 日本EIGHT百利內(nèi)六角扳手
- 威克牌磁盤
- 日本FSK生產(chǎn)砂輪
- 日本IMADA依夢(mèng)達(dá)推拉力計(jì)
- 日本BANDO阪東皮帶
- 日本YOKOTA橫田氣動(dòng)產(chǎn)品
- 日本NITTO KOHKI日東...
- 美國(guó)OMEGA熱電偶
- 日本OMRON歐姆龍氣動(dòng)產(chǎn)品
- 日本KONICAMINOLTA...
- PEAK日本必佳
- 日本DELVO達(dá)威電動(dòng)工具
- 日本KANETEC強(qiáng)力測(cè)量工具
- 日本HOZAN寶山手動(dòng)工具
- 日本NILE利萊氣動(dòng)工具
- 日本SIMCO思美高離子風(fēng)機(jī)
- 日本THK
SIMCO離子發(fā)生器4214
Simco-Ion 沿線超高潔凈氮?dú)怆x子產(chǎn)生器型號(hào) 4214 是特別為了電離氮?dú)舛O(shè)計(jì)，能把電離氮?dú)獾碾x子送至超高潔凈要求
的半導(dǎo)體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮?dú)怆x子產(chǎn)生器都要求在氮?dú)饬鲀?nèi)加進(jìn)少許氣體以產(chǎn)生離子，而這個(gè)先進(jìn)工藝的離子產(chǎn)生器采用一個(gè)小而高效的電源，就可電離氮?dú)狻?/span>
型號(hào) 4214 離子產(chǎn)生器利用高頻交流電離技術(shù)，能提供快速的消散時(shí)間，有效地中和靜電。微控處理和細(xì)小體積，能容易整合需要氮離子產(chǎn)生器的設(shè)備。超高潔凈的設(shè)計(jì)和內(nèi)置微粒采集系統(tǒng)，能確保是*干凈的離子產(chǎn)生器，兼容和提供要緊半導(dǎo)體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮?dú)馔ㄟ^(guò)型號(hào) 4214，產(chǎn)生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class 1 潔凈度，適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術(shù)制程工作。
|
? Extended ISO Class 1 潔凈度* |
? 提供*潔凈的離子產(chǎn)生器以符合超高潔凈要求 的制程，是在22 |
|
? 警報(bào)顯示 - 低離子輸出量需維護(hù)，高壓電源失效，低氣體流量 |
nm和以下的所有晶圓技術(shù)中*理想的靜電中和工具 |
|
? 待機(jī)模式 |
? 恒常監(jiān)控離子產(chǎn)生器的工作，以保障連續(xù)工作和維持在*理想的 |
|
? 自我平衡 |
效能 |
|
? 氣流量過(guò)低時(shí)自動(dòng)關(guān)機(jī) |
? 在待機(jī)模式下可減少用氣量，又可快速啟動(dòng)離子產(chǎn)生器，迅即可 |
|
? 體積小巧 |
工作 |
|
? +24 VDC 電源輸入 |
? 免除調(diào)較和繁瑣的設(shè)定 |
|
? 避免損害產(chǎn)品 |
? 是針對(duì)設(shè)備內(nèi)有限的安裝空間而設(shè)計(jì) |
|
* 請(qǐng)看后頁(yè)有關(guān) Extended ISO Class 1 潔凈度的定義 |
? 可輕易整合和利用設(shè)備上的電源 |
為了滿足現(xiàn)今更微小的先進(jìn)技術(shù)制程，Simco-Ion 自定義了一個(gè)標(biāo)準(zhǔn) - “Extended ISO Class 1”，它是用 ISO
14644-1 為基礎(chǔ)，然后延伸到 >0.01 micron (>10 nm) 微粒，和使用典型的凝聚核計(jì)數(shù)器 Condensation Nucleus
Counter (CNC) 作測(cè)量。延伸方程式是以 ISO 14644-1Class 所定義的，和利用它的潔凈度極限線集來(lái)作外延。當(dāng)外
延時(shí)，相等和大于 0.01 micron 的微粒的容許數(shù)量是 1200particles/m3 (34 particles/ft3)。Simco-Ion 沒(méi)有更改 ISO
14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，只是延伸方程式至更微細(xì)的微粒，更多關(guān)于ISO 14644-1 的資料
型號(hào) 4214 離子產(chǎn)生器是一個(gè)獨(dú)立的器件，能提供高壓電源，有超潔凈的離子產(chǎn)生元件，和界面接口可作遙控監(jiān)察工作情況和控制離子產(chǎn)生，全都在安放在4214 小盒子內(nèi)。用戶把氮?dú)廨斎?/span> 4214，所產(chǎn)生的離子就可送到靜電敏感區(qū)或所需的制程，客制復(fù)合管道或噴嘴可對(duì)應(yīng)覆蓋面積要求而設(shè)計(jì)。
