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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:SIMCO離子發(fā)生器4210

  • 產(chǎn)品型號(hào):SIMCO 4210
  • 產(chǎn)品廠商:美國(guó)SIMCO思美高靜電產(chǎn)品
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹:
SIMCO離子發(fā)生器4210 很多高科技產(chǎn)業(yè)都依賴離子產(chǎn)生器來(lái)處理由靜電所引起的控制問(wèn)題 - 增加良率,降低停機(jī)時(shí)間和微控鎖定,和降低操作成本。但在微環(huán)境和制程設(shè)備內(nèi),有時(shí)會(huì)限制離子產(chǎn)生器安裝在它們*重要的生產(chǎn)空間內(nèi)。SIMCO離子發(fā)生器4210
詳情介紹:

SIMCO離子發(fā)生器4210


很多高科技產(chǎn)業(yè)都依賴離子產(chǎn)生器來(lái)處理由靜電所引起的控制問(wèn)題 - 增加良率,降低停機(jī)時(shí)間和微控鎖定,和降低操作成本。但在微環(huán)境和制程設(shè)備內(nèi),有時(shí)會(huì)限制離子產(chǎn)生器安裝在它們*重要的生產(chǎn)空間內(nèi)。

在制程設(shè)備內(nèi)的有限工作空間,或靠近一些敏感的部件,安裝離子產(chǎn)生器會(huì)有限制,型號(hào) 4210在線氣體離子產(chǎn)生器可電離通過(guò)的壓縮氣體來(lái)產(chǎn)生和輸出數(shù)量相同的正負(fù)離子,透過(guò) Teflon? 管道連接,輸進(jìn)吹入到靜電敏感區(qū),處理靜電問(wèn)題。復(fù)合管道可定制,以避免設(shè)備內(nèi)的移動(dòng)部件。

 

? 容易連接的復(fù)合管道 

? 精準(zhǔn)輸送平衡的離子到狹小的空間,*佳用在不能把靜電針曝露

? 可用 CDA 或 氮?dú)?/span> (Nitrogen)

的地方

? IsoStat® 磚利技術(shù)

? 應(yīng)用廣范

? 穩(wěn)態(tài)直流電離

? 無(wú)需調(diào)較

? 超高潔凈的靜電針 (型號(hào) 4210u 4210un) 

? 快速消散時(shí)間

? 超高潔凈結(jié)購(gòu),嚴(yán)控的輸出電流和幾何結(jié)構(gòu)

? 提供 ISO 14644-1 Class 3 潔凈度

? 免維護(hù)可達(dá)兩年

當(dāng)氣源是超高潔凈時(shí),4210u/4210un 能提供比 ISO Class3的操作潔凈度。小心選擇的材料和控制的內(nèi)部幾何結(jié)
構(gòu),確保超高潔凈的離子輸送。


4210 離子產(chǎn)生器可應(yīng)用在不同晶圓制程上的靜電控制,如曝光機(jī),旋干機(jī),載入和送出機(jī)站,晶圓管理系統(tǒng),和熱爐      管等


4210 有不同版本可選,可用 CDA Nitrogen,可選超高潔凈的單晶硅針或高輸出的鎢針。




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