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SIMCO離子發(fā)生器4214
Simco-Ion 沿線超高潔凈氮氣離子產(chǎn)生器型號 4214 是特別為了電離氮氣而設(shè)計，能把電離氮氣的離子送至超高潔凈要求
的半導體和其他高純潔凈度的制程。一般市面上的氮氣離子產(chǎn)生器都要求在氮氣流內(nèi)加進少許氣體以產(chǎn)生離子，而這個先進工藝的離子產(chǎn)生器采用一個小而高效的電源，就可電離氮氣。
型號 4214 離子產(chǎn)生器利用高頻交流電離技術(shù)，能提供快速的消散時間，有效地中和靜電。微控處理和細小體積，能容易整合需要氮離子產(chǎn)生器的設(shè)備。超高潔凈的設(shè)計和內(nèi)置微粒采集系統(tǒng)，能確保是*干凈的離子產(chǎn)生器，兼容和提供要緊半導體制程的靜電中和。只需提供不間斷的氮氣通過型號 4214，產(chǎn)生的氮離子就能滿足 Extended ISO Class 1 潔凈度，適合在 22 nm 和以下的所有晶圓技術(shù)制程工作。
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? Extended ISO Class 1 潔凈度* |
? 提供*潔凈的離子產(chǎn)生器以符合超高潔凈要求 的制程，是在22 |
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? 警報顯示 - 低離子輸出量需維護，高壓電源失效，低氣體流量 |
nm和以下的所有晶圓技術(shù)中*理想的靜電中和工具 |
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? 待機模式 |
? 恒常監(jiān)控離子產(chǎn)生器的工作，以保障連續(xù)工作和維持在*理想的 |
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? 自我平衡 |
效能 |
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? 氣流量過低時自動關(guān)機 |
? 在待機模式下可減少用氣量，又可快速啟動離子產(chǎn)生器，迅即可 |
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? 體積小巧 |
工作 |
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? +24 VDC 電源輸入 |
? 免除調(diào)較和繁瑣的設(shè)定 |
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? 避免損害產(chǎn)品 |
? 是針對設(shè)備內(nèi)有限的安裝空間而設(shè)計 |
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* 請看后頁有關(guān) Extended ISO Class 1 潔凈度的定義 |
? 可輕易整合和利用設(shè)備上的電源 |
為了滿足現(xiàn)今更微小的先進技術(shù)制程，Simco-Ion 自定義了一個標準 - “Extended ISO Class 1”，它是用 ISO
14644-1 為基礎(chǔ)，然后延伸到 >0.01 micron (>10 nm) 微粒，和使用典型的凝聚核計數(shù)器 Condensation Nucleus
Counter (CNC) 作測量。延伸方程式是以 ISO 14644-1Class 所定義的，和利用它的潔凈度極限線集來作外延。當外
延時，相等和大于 0.01 micron 的微粒的容許數(shù)量是 1200particles/m3 (34 particles/ft3)。Simco-Ion 沒有更改 ISO
14644-1 標準，只是延伸方程式至更微細的微粒，更多關(guān)于ISO 14644-1 的資料
型號 4214 離子產(chǎn)生器是一個獨立的器件，能提供高壓電源，有超潔凈的離子產(chǎn)生元件，和界面接口可作遙控監(jiān)察工作情況和控制離子產(chǎn)生，全都在安放在4214 小盒子內(nèi)。用戶把氮氣輸入 4214，所產(chǎn)生的離子就可送到靜電敏感區(qū)或所需的制程，客制復合管道或噴嘴可對應覆蓋面積要求而設(shè)計。
