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SIMCO離子發(fā)生器Quadbar 4630
Simco-Ion Quadbar 離子產(chǎn)生器型號(hào) 4630 是業(yè)內(nèi)**個(gè)能安裝在制程空間內(nèi)的電暈放電式離子產(chǎn)生器，有效地控制空間內(nèi)的靜電荷。獨(dú)特的四極靜電針架構(gòu)設(shè)計(jì)，確保在短距離處有效電離，能把產(chǎn)品放置靠近到 3 英寸 (7.6 厘米) 左右。4630 緊湊和以 24 VDC 電源輸入的設(shè)計(jì)，符合在制程設(shè)備內(nèi)緊密有限的環(huán)境內(nèi)裝放，同時(shí)可使用設(shè)備的 24 VDC 電源供應(yīng)。如需要，Quadbar 可輸出工作狀態(tài)，通知制程工具控制臺(tái)，或設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)。
Simco-Ion Quadbar 的設(shè)計(jì)是同類產(chǎn)品*潔凈的，以 24 VDC 電源輸入，符合 ISO 14644-1Class 1 潔凈水
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采用 IsoStat® 技術(shù)和四極靜電針架構(gòu) |
? 可在*靠近的 3 英寸 (7.6 cm) 距離，提供快速的消散時(shí)間和穩(wěn) |
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? 緊湊細(xì)小的體積 |
定的離子平衡 |
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? 24 VAC 或 24 VDC 電源輸入 |
? 適合安放在緊密有限的制程工具環(huán)境 |
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? 選用單晶硅靜電針 |
? 可接連 24 VAC 或 24 VDC 電源 或 4030 控制臺(tái)或小型變壓器 |
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? 報(bào)警輸出至制程工具控制臺(tái)或設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng) |
? 單晶硅靜電針提供*潔凈的電離材質(zhì)；使用 24VDC電源輸入時(shí)， |
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能達(dá)至 ISO 14644-1 Class 1 標(biāo)準(zhǔn)使用 24 VAC 電源輸入時(shí)，滿 |
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足 ISO 14644-1 Class 2標(biāo)準(zhǔn) |
Simco-Ion IsoStat 技術(shù)能保證本能平衡，不需要復(fù)雜的回饋電路設(shè)計(jì)，無(wú)須調(diào)整或校正，而又極少需要維護(hù)。它基于物 理定律 – 電荷守恒：在孤立系統(tǒng)內(nèi)，電荷不會(huì)被創(chuàng)造或消滅；把靜電針與地隔離，IsoStat 技術(shù)保證產(chǎn)生相同的正和負(fù)的 離子，保護(hù)敏感的產(chǎn)品。
Quadbar 離子產(chǎn)生器 裝放在晶圓上面和下面，不論環(huán)境氣流，都能加快兩面的消散時(shí)間。
Quadbar 的電源輸入有不同的選擇，可用 4030 控制臺(tái)能串聯(lián) 4 臺(tái)一起，或接地的 24 VAC 電源，或 24 VDC 設(shè)備電源
(雖然離子輸出會(huì)稍少)。多樣的選擇，令 Quadbar 能在任何地方安裝和配合電源要求，使其成為一個(gè)通用和有效的離子
發(fā)生器。
